適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計(jì)AFW-100W原理分析

發(fā)布時(shí)間：2024-11-25　點(diǎn)擊量：863

適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計(jì)AFW-100W原理分析

這是配備光譜儀的標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)，非常適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計(jì)?？梢赃M(jìn)行非接觸式測(cè)量，因此您不必注意涂層工作表面。

它涵蓋了廣泛的測(cè)量波長(zhǎng)和可測(cè)量的薄膜厚度。

可測(cè)量波長(zhǎng)：380nm～1050nm
可測(cè)量膜厚：100nm～60μm

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反射分光膜厚計(jì)AFW-100W

反射分光式膜厚計(jì)測(cè)量原理

當(dāng)光線照射在透明薄膜上時(shí)，在薄膜表面反射的光（R1）與在薄膜內(nèi)部折射并在基材表面反射的光（R2）重疊，導(dǎo)致光線增強(qiáng)或減弱。

這種現(xiàn)象稱為“光干涉" 。當(dāng)光的相位匹配時(shí)，強(qiáng)度增加，而當(dāng)相位偏移時(shí)，強(qiáng)度減小。

右圖是“光干涉"的圖像。 “反射分光膜厚計(jì)"是通過分析該光的干涉（波長(zhǎng)）來測(cè)量膜厚的方法。

反射光譜膜厚測(cè)量原理

求使測(cè)量反射率與理論反射率之差的平方最小的膜厚值。

推薦在波紋數(shù)為3個(gè)以下時(shí)使用（膜厚約1μm）。

通過FFT計(jì)算確定某一波長(zhǎng)寬度內(nèi)表示膜厚的干涉波形的數(shù)量，并由此導(dǎo)出一個(gè)周期的波長(zhǎng)寬度。

建議在有3個(gè)或更多波紋時(shí)使用（膜厚約1μm）。

模型	AFW-100W
目的	一般膜厚用
設(shè)備配置	單元主體、測(cè)量臺(tái)、分支光纖（1.5m）、PC、膜厚測(cè)量樣品
測(cè)量波長(zhǎng)范圍	380nm～1050nm
膜厚測(cè)量范圍	100nm至1μm（曲線擬合法）
膜厚測(cè)量范圍	1μm～60μm（FFT法）
測(cè)量重復(fù)性	0.2%至1%（取決于膜質(zhì)量）
測(cè)量光斑直徑	約7毫米
光源	12V-50W 鹵素?zé)?/span>
測(cè)量理論	曲線擬合法/FFT法
外形尺寸（毫米）	機(jī)身：W230 x D230 x H135
外形尺寸（毫米）	測(cè)量臺(tái)：W150 x D150 x H115
大約重量	5.5kg *不包括電腦
公用事業(yè)	交流100V 50/60Hz
消耗品	鹵素?zé)?/span>