熱物理顯微鏡TM3的測量原理

在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光定期加熱。

1. 由于金屬的反射率具有隨表面溫度變化的特性（熱電阻法），因此通過捕捉與加熱激光同軸照射的檢測激光的反射強度變化來測量表面的相對溫度變化。 .

2. 熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導致表面溫度響應出現相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱特性。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來獲得熱射流率。

檢測特點

• 熱物性顯微鏡是一種測量熱射流率的裝置，熱射流率是熱物理特性值之一。

• 它是一種可以通過點、線和面測量樣品的熱特性的設備。

• 還可以測量微米量級的熱物理性質分布，這在傳統(tǒng)的熱物理性質測量設備中被認為是困難的。

• 它是一款能夠對熱物理特性進行非接觸式高分辨率測量的設備。

• 3 μm的檢測光點直徑可在微小區(qū)域內進行高分辨率熱物性測量（點/線/面測量）。

• 由于可以通過改變深度范圍進行測量，因此可以測量從薄膜/多層膜到塊狀材料。

• 您也可以測量板上的樣品。

• 使用激光進行非接觸式測量。

• 可以檢測薄膜下的裂紋、空隙和剝落。